■ B1517A (X4) - Vier HRSMU - Bis zu 100 V, 100 mA Kraft, 1 fA Stromauflösung
■ B1520A - MFCMU - 1 kHz bis 5 MHz, bis zu 100 V DC Vorspannung mit SMU GET QUg-12
■ B1517A (X4) - Vier HRSMU - Bis zu 100 V, 100 mA Kraft, 1 fA Stromauflösung
■ B1530A - WGFMU - Min. 100 ns Impulsbreite, 10 V Spitze-Spitze-Ausgang, 5 ns Strom- oder Spannungsmessung AbtastgeschwindigkeitET QUOTE
Produkt Overview
Der Keysight B1500A (Agilent) Semiconductor Device Analyzer ist ein modulares Instrument mit einer Konfiguration mit zehn Steckplätzen, das sowohl IV- als auch CV-Messungen sowie schnelles Hochspannungspulsieren unterstützt. Die bekannte Microsoft ® Windows ® -Benutzeroberfläche unterstützt die EasyEXPERT-Software von Agilent, die einen neuen, intuitiveren, aufgabenorientierten Ansatz für die Gerätecharakterisierung bietet. Aufgrund seiner extrem niedrigen Strom-, Niederspannungs- und integrierten Kapazitätsmessfunktionen kann der Keysight B1500A (Agilent) für eine Vielzahl von Anforderungen an die Charakterisierung von Halbleiterbauelementen verwendet werden (IC-CAP unterstützt den B1500A). Es ist auch eine ausgezeichnete Lösung für die Charakterisierung nichtflüchtiger Speicherzellen und die Charakterisierung von Hochgeschwindigkeitsgeräten (einschließlich fortschrittlicher NBTI-Messung).
Merkmale und Vorteile von:
● Überlegene IV-Messleistung: 0,1 fA / 0,5 µV Messauflösung
● Zu den Messfunktionen gehören ein- und mehrkanaliger Sweep, Zeitabtastung, Listen-Sweep, quasistatischer CV (unter Verwendung der SMUs), direkte Steuerung und ALWG-GUI (Arbitrary Linear Waveform Generation) für die HV-SPGUs.
● Das optionale integrierte Kapazitätsmodul unterstützt CV-Messungen bis zu 5 MHz
● Optionale CV-IV-Schaltlösungen auf Positioniererbasis mit einer Spannungsmessauflösung von 0,5 µV und einer Strommessauflösung von 10 fA, 1 fA oder 0,1 fA
● Einfache Testautomatisierung mit integrierten halbautomatischen Wafer-Prober-Treibern und Testsequenzierung ohne Programmierung über den Quick Test-Modus
● Optionale Hochspannungs-Halbleiter-Impulsgeneratoreinheit (HV-SPGU) mit programmierbaren Impulsbreiten von 10 ns und + / - 40 V (80 V Spitze-Spitze) -Ausgang.
● Optionaler Wellenformgenerator / schnelle Messeinheit (WGFMU) mit ALWG und schnellen Strom- oder Spannungsmessfunktionen.
● Zur Charakterisierung von dielektrischen High-k-Gate-Transistoren und SOI-Transistoren (Silizium-auf-Isolator) steht eine gepulste 10-ns-IV-Lösung zur Verfügung.
● Es steht ein klassischer Testmodus zur Verfügung, der das Erscheinungsbild und die Terminologie der 4155/4156-Benutzeroberfläche bereitstellt und gleichzeitig die Benutzerinteraktion verbessert, indem die Funktionen der Microsoft ® Windows ® -GUI voll genutzt werden.
Schlüsselspezifikationen von:
● Allgemeine Funktionen
● PC-basiertes Instrument mit Windows ® XP Professional OS
● Single-Box-Lösung für Strom-Spannung (IV), Kapazitäts-Spannung (CV), Impulserzeugung, schnelle IV und Zeitbereichsmessung.
● Zehn Modulsteckplätze für Quellmonitoreinheiten (SMUs) und andere Modultypen (MFCMU, HV-SPGU und WGFMU) *
● Offline-Datenanalyse und Entwicklung von Anwendungstests über die Desktop EasyEXPERT-Software
● Messfunktionen
■ Unterstützt die Strom-Spannungs-Messung (IV) auf 0,1 fA und 0,5 µV
■ Unterstützt sowohl quasistatische als auch mittelfrequente Kapazitätsspannungsmessungen (CV)]
■ Unterstützt genaue schnelle IV- und Zeitbereichsmessungen für eine Vielzahl von Anwendungen wie gepulste IV-, NBTI- und RTS-Messungen.
■ Unterstützt die Erzeugung von Hochspannungsimpulsen (bis zu ± 40 V) für Tests von Hochleistungs- und Speichergeräten.
Modulauswahlhandbuch:
| Modul Main | Schlüssel | Spezifikation |
B1510A HPSMU | 2 | Bis zu 200V, 1A Kraft. 10fA aktuelle Auflösung |
B1511A MPSMU | 1 | Bis zu 100 V, 100 mA Kraft, 10 fA Stromauflösung |
B1517A HRSMU | 1 | Bis zu 100 V, 100 mA Kraft, 1 fA Stromauflösung |
E5288A ASU | N / A | Bis zu 100 V, 100 mA Kraft, 100 mA Stromauflösung |
B1520A MFCMU | 1 | 1 kHz bis 5 MHz, bis zu 100 V DC Vorspannung mit SMU |
B1525A HV-SPGU | 1 | Min. 12,5 ns Pulsbreite, 10 ns Übergangszeit, bis zu 40 V mit 3 Pegel pu |
B1530A WGFMU | 1 | Min. 100 ns Impulsbreite, 10 V Spitze-Spitze-Ausgang, 5 ns Strom- oder Spannungsmessabtastgeschwindigkeit |
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